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Institut für Mikrointegration

Forschungsschwerpunkte

Die Forschungsschwerpunkte des Instituts für Mikrointegration liegen in der grundlagenorientierten Untersuchung in Dimensionsbereichen der Mikro- und Nanotechnik.

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Messen am Ort des Geschehens

  • Bereitstellung nahtlos integrierter Sensoren
  • Enabler für Megatrends wie Internet of Things, Smart Factory, Smart Home und Ambient Assisted Living

Das IFM …

  • entwickelt Sensoren und Sensorsysteme auf Basis unterschiedlicher physikalischer Wirkprinzipien und Technologien.
  • bringt durch Kompetenz in der Mikroaufbautechnik Sensoren so nah wie möglich an den Einsatzort (Miniaturisierung, Anpassung an den Bauraum, Zuverlässigkeit unter rauen Umgebungsbedingungen).

Optische Komponenten und Systemintegration

  • Berührungsfreie Messung
  • Hohe Übertragungsgeschwindigkeit von Informationen
  • Innovative Sensoren (z.B. Quantensensoren)

Das IFM …

  • stellt ein Portfolio an mikrooptischen Komponenten bereit (Mikrolinsen, diffraktive Elemente, hybride optische Elemente, Mikrospiegel und Wellenleiter).
  • erschließt das Active Alignment und die hochpräzise Montage von Optiken.
  • entwickelt optische Sensoren.

Mit digitalen Prozessketten zum Produkt

  • Wirtschaftliche Fertigung von Produkten ab Losgröße 1
  • Individualisierte Produkte, kleine Stückzahlen, große Variantenvielfalt

Das IFM …

  • erschließt digitale Prozessketten auf Basis additiver und subtraktiver 2D- und 3D-Prozesse (Direktbelichtung, Drucktechnologien, Lasertechnologien).
  • weist deren Zuverlässigkeit nach.
  • erhöht den Reifegrad vom Rapid Prototyping hin zum Rapid Manufacturing.

Ultradünne flexible Mikrosysteme

  • Mechanische Flexibilität von Mikrosystemen (Anpassung an gekrümmte Bauräume, Verformbarkeit während des Einsatzes).
  • Miniaturisierung in z-Richtung

Das IFM …

  • erschließt die komplette Technologiekette (Strukturierung von Foliensubstraten, Montage und Kontaktierung ultradünner Komponenten, Aufbau mehrlagiger Systeme).
  • sichert die Zuverlässigkeit unter relevanten Lastfällen ab.

Funktionsintegration in drei Dimensionen

  • Gestaltungsfreiheit und Miniaturisierungspotential durch 3D-Fähigkeit
  • Integration mechanischer, elektrischer und optischer Funktionen

Das IFM …

  • erhöht den Reifegrad von MID-Technologien (Standardisierung (z. B. für die Laserdirektstrukturierung), Verständnis der Zuverlässigkeit, Verbesserung der Fine-Pitch-Fähigkeit).
  • erweitert die Werkstoffpalette von Thermoplasten um Keramiken und Duroplaste (Einsatz unter rauhen Umgebungsbedingungen)

Hochpräzise Strukturierungsverfahren

  • Entwicklung innovativer mikrotechnischer Produkte
  • Realisierung optischer, elektronischer und / oder mechanischer Funktionen

Das IFM …

  • verwendet und kombiniert unterschiedliche Prozesse zur direkten Fertigung von Bauteilen (Laserprozesse, nasschemische Metallisierung, Druckprozesse, Hoch- und Ultrapräzisionsbearbeitung, MEMS-Strukturierungsverfahren und Galvanokopiertechniken).
  • integriert mikrostrukturierte Komponenten in Spritzgieß- und Moldingwerkzeuge (Replikation in Kunststoffen).