Forschungshighlights

Institut für Mikrointegration

Hier werden Highlights aus abgeschlossenen Forschungen am IFM dargestellt.

Mit dem FIB aufgebaute Spitze mit Größenordnungen im Nanometerbereich.

DFG - ERNST Nanobeschleunigungssensor

Projektziel ist die Reduktion des Flächenbedarfs eines Beschleunigungssensors um den Faktor 100.
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