Ultradünne flexible Mikrosysteme.
- Mechanische Flexibilität von Mikrosystemen (Anpassung an gekrümmte Bauräume, Verformbarkeit während des Einsatzes).
- Miniaturisierung in z-Richtung
Das IFM …
- erschließt die komplette Technologiekette (Strukturierung von Foliensubstraten, Montage und Kontaktierung ultradünner Komponenten, Aufbau mehrlagiger Systeme).
- sichert die Zuverlässigkeit unter relevanten Lastfällen ab.